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光學(xué)元件形貌測(cè)試系統(tǒng)是Phasics推出的一款多波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)干涉儀，該產(chǎn)品應(yīng)用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)的波前測(cè)量，從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術(shù)的自消色差的特性,讓系統(tǒng)可以支持多個(gè)工作波長(zhǎng),有效避免傳統(tǒng)干涉儀測(cè)試波長(zhǎng)跟工作波長(zhǎng)不同帶來(lái)的誤差問(wèn)題，特別針對(duì)濾光片，可以實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)干涉儀無(wú)法實(shí)現(xiàn)的TWE的測(cè)試。

鏡頭MTF測(cè)試系統(tǒng)設(shè)備采用Phasics的四波剪切干涉?zhèn)鞲衅?，?05nm~940nm多種波長(zhǎng)光源可選，而且同時(shí)最多可以配置8個(gè)波長(zhǎng)的光源。

激光損傷閾值測(cè)試系統(tǒng)不同激光器類(lèi)型，損傷的機(jī)理并不一致；對(duì)于連續(xù)激光器，通常是熱積累導(dǎo)致的損傷；而對(duì)于脈沖激光器，則存在多重的損傷機(jī)制，而且不同脈寬的激光器，占主導(dǎo)的損傷機(jī)制并不相同。

紫外波前分析儀SID4-UV是Phasics針對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用市場(chǎng)需求推出的一款高性?xún)r(jià)比的紫外波前分析儀，波長(zhǎng)范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為7.8X7.8mm2，提供300X300的采樣率，同時(shí)能夠提供26um的相位空間分辨率；該產(chǎn)品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測(cè)量要求，也能夠滿足半導(dǎo)體的光學(xué)器件的品質(zhì)管控測(cè)量和半導(dǎo)體晶圓面型的測(cè)量。